국산화 앞둔 반도체 초순수…“수질·성능 검사만 남아”

국산화 앞둔 반도체 초순수…“수질·성능 검사만 남아”

  • 기자명 최태우 기자
  • 입력 2024.01.17 11:57
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반도체 웨이퍼 [사진제공=연합뉴스]
반도체 웨이퍼 [사진제공=연합뉴스]

 

[더퍼블릭=최태우 기자] 반도체 생산 공정에 필수적으로 사용되는 초순수가 국산화 성공을 앞두고 있다. 현재 수질과 성능 검증 작업만을 남겨두고 있는 것으로 전해졌다.

17일자 <조선일보>의 단독 보도에 따르면, 국내 반도체 기업들과 수자원공사는 초순수 국산화에 성공했다. 경북 구미 소재의 SK실트론 2공장에서 오는 8월 초순수 테스트를 마무리하고 본격적인 생산라인에 투입될 예정이다.

초순수는 물을 구성하는 수소와 산소만 남기고 무기질과 박테리아 등을 모두 제거한 물을 의미한다. 반도체 웨이퍼의 불순물을 제거하는 데 사용된다.

환경부에 따르면, 지난해 11월 2단계 플랜트까지 구축이 완료됐으며 현재 수질 및 성능 검증이 진행되고 있다. 2단계 시설 공정률은 약 85%가량 진행됐고 내년까지 수질 분석과 성능 검증을 진행한다고 한다.

당초 초순수 등 반도체 소재, 부품 등을 일본 의존도가 높았다. 일본은 1980년대 통상산업성(경제산업성) 주도로 반도체연구회를 만들어 반도체 기술과 초순수 생산 기술을 함께 개발했다.

국가적 지원이 잇따르자 구리타와 노무라 같은 초순수 제조업체가 글로벌 시장을 장악했다. 미국 역시 국가 안보 차원에서 초순수 기술을 지원하고 있다.

정부는 지난 한·일 갈등을 겪으면서 소재·부품·장비 분야의 국산화 비율을 높이는 데 투자를 확대했다. 국제 분업에 따라 일본산을 사용하는 게 더 경제적인 분야도 있지만 반도체 관련 소재는 경제 안보 차원에서 국산화가 필요한 부분이 있었다.

이에 환경부는 2021년 6월 초순수 국산화를 정부 과제로 선정했고, 국내 기업들과 초순수 실증 플랜트를 만들었다. 그 결과, 국산 초순수로 세정한 웨이퍼가 생산을 앞두게 됐다.

한화진 환경부 장관은 “초순수도 다른 반도체 기술처럼 초격차 확보가 중요한 소재인 만큼, 초순수 전문 인력 양성과 연구·개발을 위한 지원책을 올해 안에 발표할 것”이라고 했다.

더퍼블릭 / 최태우 기자 therapy4869@thepublic.kr

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